制限視野回折とは？ わかりやすく解説

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制限視野回折

略語：SAD
【英】：selected-area diffraction

入射電子線を平行にして試料に照射し、点状の斑点からなる回折図形を得て、結晶構造の定性的な解析をする手法。対物レンズの像面に制限視野絞りを入れることにより回折図形を得る試料の場所（直径 数100nm）を選ぶことができる。この方法により、特定の場所の格子定数、格子型、結晶方位を知ることができる。

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