光電子軌道
出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2022/04/02 21:21 UTC 版)
「極端紫外線リソグラフィ」の記事における「光電子軌道」の解説
小寺ほかはEUV光電子軌道シミュレーション行い、それらの範囲が30nmになることを示した。これらの電子によるエネルギー付与の広がりは観測される線端粗さから説明できる。表面から放射された電子が戻ることはないので、最上層の照射は事実上少ない。
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