スペクトル分解能とは？わかりやすく解説

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走査電子顕微鏡基本用語集

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エネルギー分解能（スペクトル分解能）　energy resolution,spectrum resolution

X線分光器などのエネルギーアナライザの性能を表す用語。スペクトル中に現れるピークの半値幅で表すが、どの位接近したエネルギーが分離観測できるかを意味する。X線分光器の場合はFeのKa線付近のピークにより定義され、EDSでは130eV程度、WDSでは10eV程度が得られている。

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