ガス除去フィルタ(化学吸着フィルタ)
出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2019/05/22 11:29 UTC 版)
「エアフィルタ」の記事における「ガス除去フィルタ(化学吸着フィルタ)」の解説
美術館や博物館のコロージョンコントロール(美術品等の腐食制御)やインダストリークリーンルームにおいてはシリコンウェハーや液晶フィルムに対しての汚染制御に用いられる。活性アルミナにガス除去成分を溶着した物が一般的であるが、現在は純水をエアワッシャ方式の空調機内で噴霧し、その名の如くエア(空気)を洗う方法で供給空気中のガス成分を除去するケースも多いが水溶性のガスしか除去できない。
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