plasma cleaning

走査電子顕微鏡基本用語集

プラズマクリーニング　plasma cleaning

プラズマ中に試料を置き、プラズマの化学作用により、試料表面のカーボン系の汚れを分解・除去し、試料汚染を防止する方法。すでに付着した試料汚染の堆積物も除去することができる。高分子試料などカーボン系の試料の場合は、試料損傷を受ける可能性が高く、注意が必要である。

関連する用語

• 試料汚染
• 試料損傷

透過電子顕微鏡基本用語集

プラズマクリーニング

【英】：plasma cleaning

試料にプラズマイオンを照射し、試料の汚れである炭化水素の重合物を除去すること。実際には低真空状態で二つの電極間に電圧をかけ残留気体をプラズマ状態にし、試料を電極間におく。プラズマとは原子や分子が激しくぶつかってイオンやラジカルになっている状態で、エネルギーが高く他の分子との反応性が非常に高い。

関連する用語

• 試料汚染
• イオンクリーナ