欠陥レビューSEMとは？ わかりやすく解説

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欠陥レビューSEM（ディフェクトレビューSEM,レビューSEM,ウェハー検査SEM）　defect review SEM,review SEM,wafer inspection SEM

半導体製造ラインなどで生じた各種欠陥のレビューや分類を行うSEM。光学式の欠陥検査装置とリンクすることで、ウエハ表面の欠陥を効率よく自動的に検出し、微小欠陥、異物の形状をより詳しく観察したり、成分を分析することができる。SEM像、欠陥の分類データ、元素分析データなどを自動的に出力する機能を持つ。

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