汎用形FESEMとは？ わかりやすく解説

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汎用形FESEM　general-purpose FESEM,conventional FESEM

FE電子銃とアウトレンズ形対物レンズを組み合わせたSEM。FESEMとしては最も歴史が長く、多く用いられている。解像力は数nm、実用的な倍率としては5〜10万倍が得られる。

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