SIP

走査電子顕微鏡基本用語集

スパッタイオンポンプ（イオンポンプ）　SIP: sputter ion pump,ion pump

チタンのゲッター作用を利用した真空ポンプ。チタン板を陰極として放電を起こすと、イオンスパッタにより常に新しい活性面が露出されると同時に、周囲にもチタンがスパッタされる。これらによる吸着作用を利用して排気する。また、不活性ガスもイオン化されて陰極に捕集されるので、排気できるのが特長である。動作圧力は10^-9〜10^-3Pa程度であるが、放電電流から圧力を知ることができる。安定な放電を持続するため電極は強い磁界中に置かれている。

関連する用語

• 真空ポンプ
• イオン化