出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2021/08/21 08:25 UTC 版)
「放電」の記事における「RF（Radio Frequency）放電」の解説
高周波放電の一つであり、容量結合プラズマや誘導結合プラズマがある。誘導結合プラズマは電子の捕捉現象により、電極間またはコイル内に存在する気体分子がα作用だけで放電が維持される。
※この「RF（Radio Frequency）放電」の解説は、「放電」の解説の一部です。
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