Pirani gauge

デジタル大辞泉

ピラニ‐ゲージ【Pirani gauge】

読み方：ぴらにげーじ

⇒ピラニ真空計

大車林

ピラニ真空計

英語 pirani gauge

空気の希薄度を測定する計器で、容器内の空間の真空度を測定することに用いられている。その原理は圧力に比例して気体の熱伝導度が変化することを利用している。加熱されている金属の細線の温度は気体の圧力に反比例するので、この温度変化に伴う電気抵抗の変化をホイーストンブリッジ回路で測定し、間接的に真空度を計る。真空熱処理炉の真空度測定などに利用されている。

※「大車林」の内容は、発行日である2004年時点の情報となっております。

走査電子顕微鏡基本用語集

ピラニ真空計（ピラニゲージ）　Pirani gauge

真空中で通電加熱された金属線からの放熱量が圧力によって変わり、電気抵抗が変わる現象を利用した真空計。測定可能圧力範囲は大気圧〜10^-1Paで、SEMで真空排気系の制御に使われる。

関連する用語

• 真空排気系

ウィキペディア

ピラニ真空計

出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2014/02/27 07:18 UTC 版)

ピラニ真空計（—しんくうけい）は電気抵抗型の真空計である。

細い白金線に電流を流しておき、気体分子の衝突によって奪われる熱を白金線の抵抗値の変化によるブリッジ回路に流れる電流値として測定すれば、間接的に気体の圧力を測定したことになる。回路の方式としては圧力が変化したときに白金線の温度が一定になるように制御する定温度制御と電流が一定になるように制御する定電流制御があるが、定温度型制御のほうが白金線に負担がかからないため普及している。

測定範囲は0.1Pa–2kPa程度であるが、大気に開放しても白金線は損傷することはないものが多い。他の多くの真空計と同じく圧力の間接測定法であるため気体の種類によっては測定値に誤差を生むことに注意を要する。

関連項目

• en:Marcello Pirani (1880 – 1968) 発明者。ドイツの物理学者。