Electron Back Scatter Diffraction

走査電子顕微鏡基本用語集

EBSD　electron backscatter diffraction

後方散乱電子回折を利用して、結晶性試料の方位解析をする方法。60〜70゜に傾斜した試料に電子プローブを照射すると、側方に置いた蛍光スクリーン上に電子回折パターンが得られる。この電子回折パターンをテレビカメラで取り込み、方位解析を行いながら、電子プローブで試料表面を走査すると、各点の方位情報が得られる。これを利用して方位分布、相分布などの結晶方位解析を行うことができる。解析領域、空間分解能は電子プローブ径にも依存するが、数十nmである。

関連する用語

• 後方散乱電子回折
• 電子プローブ
• 方位マッピング
• 解析領域
• 空間分解能

後方散乱電子回折　electron backscatter diffraction

バルク状の結晶試料に電子線が入射したとき、後方散乱電子により菊池パターンが形成される現象。SEMにおけるEBSDの場合は、この後方散乱電子回折を利用した結晶方位解析の手法を意味する。

関連する用語

• 電子線
• 後方散乱電子
• 菊池パターン
• EBSD