クロスセクションポリシャとは？ わかりやすく解説

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クロスセクションポリシャ　CP: Cross Section Polisher

アルゴンイオンビームを使った試料断面作製装置の商品名。試料直上にスパッタリング速度の遅い遮蔽板を置き、その上からアルゴンのブロードイオンビームを照射してエッチングを行うことで、遮蔽板の端面に沿った研磨断面を作る。これにより、数百µm領域の、広く、しかも加工歪みの少ない断面が得られる。加工位置精度は10µm程度である。下図は、研磨開始時（左）および研磨終了時（中央）の試料断面の様子を示し、右は矢印方向から見た加工断面のSEM像である。
クロスセクションポリシャ

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