魔鏡検査

研磨用語集

魔鏡検査

まきょうけんさ

裏面に板厚模様がついた薄い金属円板は、鏡面に研磨したあとそれに平行光を照射するとその反射像に裏面の模様が現れるという不思議な現象を示したので、それに因んで魔鏡と称されてきた。その現象は、研磨圧力が付加すると板厚模様に従って撓んだ状態で研磨され、僅かな凹凸を残し、平行光反射光が強調された明暗像を示したものと解明されている。シリコンウエハの大きなピッチのうねりを検出する手段として平行光反射像によるこの検査法が提案された。