熱電子銃 thermal-electron gun
- 熱電子放出を利用した電子銃。陰極としては、タングステンフィラメントが多く用いられるほか、LaB6陰極が用いられる。輝度、エネルギー幅など、電界放出電子銃、ショットキー電子銃などに比べて、性能が劣るところがあるが、プローブ電流量、電流安定度、価格などの点で優れており、汎用形SEM、EPMA、オージェ分析装置などに多く使われている。
下図に熱電子銃の基本的な構造を示す。陰極から放出された電子は、陽極に印加された高電圧によって所定のエネルギーに加速されるが、その電流量はウェーネルト電極に印加されたバイアス電圧によって制御される。また、陰極、ウェーネルト電極、陽極の3つの電極のレンズ作用によってクロスオーバーが形成される。
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