出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2020/03/11 05:21 UTC 版)
気相拡散法(ガスディポジション法)不活性ガス中に母材の蒸気を噴出させて液体窒素で冷却された基板に蒸着させて生成する。
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出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2022/07/16 17:45 UTC 版)
半導体基板をドーパントを含んだガスの雰囲気中で加熱して単結晶内にドーパントを拡散する。
※この「気相拡散法」の解説は、「拡散型トランジスタ」の解説の一部です。
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