出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2022/05/08 05:45 UTC 版)
結晶特性と外観を検査した後、梱包されて出荷される。結晶特性の検査には、結晶方位、導電型、抵抗率、結晶欠陥、炭素と酸素の濃度があり、外観の検査では、反り、平坦度、汚れ、傷が検査される。 梱包のケースは、従来多種類だったウエハーの格納ジャーが、FOUP (Front Opening Unified Pod) という国際規格の制定後は、共通のウエハー用格納ポッドで扱えるようになっている。
※この「検査・梱包」の解説は、「シリコンウェハー」の解説の一部です。
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