排気系
出典: フリー百科事典『ウィキペディア(Wikipedia)』 (2017/09/09 08:34 UTC 版)
真空ポンプである。真空容器、ガス放出、真空の質などから適切な真空ポンプを選択する必要がある。
※この「排気系」の解説は、「真空装置」の解説の一部です。
「排気系」を含む「真空装置」の記事については、「真空装置」の概要を参照ください。
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真空ポンプである。真空容器、ガス放出、真空の質などから適切な真空ポンプを選択する必要がある。
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