分析法としての応用
出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2022/02/20 07:40 UTC 版)
「誘導結合プラズマ」の記事における「分析法としての応用」の解説
化学分析においては、アルゴンガスによって生成される誘導結合プラズマがサンプルを数1000℃から10000℃まで加熱し、原子化・熱励起するのに用いられている。 ICPを利用した分析法には、ICP-AES (OES) とICP-MSの2種類がある。 ICP-AES （ICP - Atomic Emission Spectrometry、あるいはICP-OES Optical Emission Spectrometry〈ICP発光分光〉） ICPによってサンプルを原子化・熱励起し、これが基底状態に戻る際の発光スペクトルから元素の同定・定量を行う方法である。原子吸光法と異なり、一度に何種類もの元素を分析することができるが、感度はフレームレスの原子吸光法より劣る。 ICP-MS （ICP - Mass Spectrometry、ICP質量分析） 質量分析計のイオン化部としてICPを用いることで、元素の同定・定量を行う方法である。73種類の元素について使用可能であり、質量分析計を用いるため、pptレベルの超高感度分析が可能である。ただし、プラズマ内で一時的に生成される分子イオンの妨害を受けるため、分析には注意を要する場合がある。
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