マイクロ波誘導プラズマ
出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2021/04/20 06:28 UTC 版)
マイクロ波誘導プラズマイオン源は、無電極ガス放電を励起して、微量元素質量分析用のイオンを生成できる。マイクロ波プラズマは、GHz範囲の高周波電磁放射を有するプラズマの一種であり、無電極ガス放電を励起できる。表面波持続モードで適用された場合、それらは高プラズマ密度の大面積プラズマを生成するのに特に適している。それらが表面波と共振器モードの両方にある場合、高度の空間的局在化を示すことができる。これにより、プラズマ生成の場所を表面処理の場所から空間的に分離することがでる。このような分離は、（適切なガスフロースキームとともに）処理された基板から放出された粒子が気相のプラズマ化学に及ぼす可能性のある悪影響を減らすのに役立つ。
※この「マイクロ波誘導プラズマ」の解説は、「イオン源」の解説の一部です。
「マイクロ波誘導プラズマ」を含む「イオン源」の記事については、「イオン源」の概要を参照ください。
ウィキペディア小見出し辞書の「マイクロ波誘導プラズマ」の項目はプログラムで機械的に意味や本文を生成しているため、不適切な項目が含まれていることもあります。ご了承くださいませ。
お問い合わせ。
- マイクロ波誘導プラズマのページへのリンク
