プローブ・チップ・コンタクト
出典: フリー百科事典『ウィキペディア(Wikipedia)』 (2022/06/01 03:22 UTC 版)
「マスクレス リソグラフィ」の記事における「プローブ・チップ・コンタクト」の解説
IBMは原子間力顕微鏡の技術を元にした代替マスクレスリソグラフィーを開発した。参照. さらにディップ・ペン・ナノリソグラフィー(英語版)がサブマイクロメートル用の課題解決策として検討される。
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