ガラスとの反応
出典: フリー百科事典『ウィキペディア(Wikipedia)』 (2022/06/05 09:58 UTC 版)
フッ化物イオンの高い求核性によるケイ素原子との強い結合形成と、ケイ酸骨格へのプロトン化の相互作用により、ガラス等に含まれるケイ酸 SiO2 と反応して、ヘキサフルオロケイ酸 H2SiF6 を生じ、これらを腐食させる。この反応は、半導体の製造プロセスにおいて重要である。 SiO 2 + 6 HF ⟶ H 2 SiF 6 + 2 H 2 O {\displaystyle {\ce {SiO2 + 6HF -> H2SiF6 + 2H2O}}} ちなみに、気体のフッ化水素は、ガラス等に含まれる二酸化ケイ素 SiO2 と反応し四フッ化ケイ素 SiO 2 + 4 HF ⟶ SiF 4 + 2 H 2 O {\displaystyle {\ce {SiO2 + 4HF -> SiF4 + 2H2O}}} となる。 その他、ほとんど全ての無機酸化物を腐食する。そのため、容器としてポリエチレンやテフロンのボトルが使用される。
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