オージェ電子とは？わかりやすく解説

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走査電子顕微鏡基本用語集

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オージェ電子　Auger electron

入射電子によって高いエネルギー準位に励起された原子が、低いエネルギー準位に遷移するときに、差のエネルギー（マイナス結合エネルギー）を持った電子が放出される。これをオージェ電子と言い、元素に特有なエネルギーを持つ。特性X線の励起とよく似た過程であるが、軽元素では、特性X線の放出よりオージェ電子の放出の確率が高い。

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