出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2021/08/24 09:56 UTC 版)
酸化タンタルは電子工学で頻繁に使用され、多くの場合薄膜の形で使用される。これらの用途では揮発性のハロゲン化物またはアルコキシドの加水分解を含むMOCVD（またはその関連技術）により生成できる。 Ta2(OEt)10 + 5 H2O → Ta2O5 + 10 EtOH 2 TaCl5 + 5 H2O → Ta2O5 + 10 HCl
※この「アルコキシドから」の解説は、「五酸化タンタル」の解説の一部です。
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