しーおーぴー

研磨用語集

COP

しー・おー・ぴー

シリコン単結晶の洗浄工程のエッチングによりウェハ表面に生じる結晶起因の欠陥のうち、パーティクルカウンターによりパーティクルとして計数されるもの。パーティクルを意味する　crystal-originated particle　の略語であるが、実体は0.2～0.5μmの大きさのピットである。