走査電子顕微鏡基本用語集

エネルギー分散形X線分光器　EDS,EDX: energy dispersive X-ray spectrometer

X線をエネルギーで弁別し、スペクトルを得る分光器。一般には、半導体を使ったEDS検出器が用いられており、分析元素範囲はB〜Uである。EDS検出器、多重波高分析器、パーソナルコンピュータなどでシステムが構成されているが、WDSに比べて、検出器の取り付けに幾何学的な制限が少ないので多くのSEMに取り付けられている。全元素範囲の同時分析ができる、分析時のプローブ電流が小さくて済むなどの特長もあるが、エネルギー分解能、検出限界などではWDSの方が有利である。

関連する用語

• EDS検出器
• 多重波高分析器
• WDS
• プローブ電流
• エネルギー分解能
• 検出限界