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エネルギー分散X線分光法　EDS,EDX: energy dispersive X-ray spectrometry

エネルギー分散形X線分光器を使ったX線分光法。分析元素範囲はB〜Uである。全元素範囲の同時分析ができる、分析時のプローブ電流が小さくて済むなどの特長もあるが、エネルギー分解能、検出限界などではWDSの方が有利である。SEMでの元素分析は、ほとんどがこの方法による。

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