横形分光器とは？わかりやすく解説

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走査電子顕微鏡基本用語集

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横形分光器　horizontal spectrometer,inclined spectrometer

WDSの一種。ローランド円が水平面から30゜程度傾いた状態で配置されているのが特徴である。このため、試料の高さがわずかにずれても分光条件を満たすことから、高さ合わせ用の光学顕微鏡が不要であり手軽に扱えるので、SEMに取り付けられるのはこの形式が多い。

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