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走査電子顕微鏡基本用語集
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エミッションノイズ（チップノイズ）　emission noise,chip noise

電子銃から放出される電子電流量の変動によって、画像に生じる明るさの変動。ゆっくりした走査速度だと、スジ状あるいは帯状の明るさ変化として現れる。電界放出電子銃では、エミッタの電子放出領域が小さいこと、吸着ガス分子の影響を受けやすいことなどから、エミッションノイズが大きく、これを補償するノイズキャンセラと呼ばれるシステムが必要であるが、熱電子銃やショットキー電子銃では無視できる。

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