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走査電子顕微鏡基本用語集

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エネルギー幅 energy spread,energy width

電子が持つエネルギーばらつきSEM場合は、電子銃から放出される電子、あるいは電子プローブ内の電子に対して言うのが普通である。これは、電子プローブ径が、特に低加速電圧エネルギー幅影響を受けるからである。陰極からの電子放出メカニズムによってエネルギー幅異なり陰極温度が高いほどエネルギー幅は広くなる。

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