走査電子顕微鏡基本用語集

エネルギーフィルタ　energy filter

特定のエネルギーを持った二次電子あるいは反射電子のみを透過させたり、遮断するための、複数の電極で構成されたフィルタ。市販のSEMでは、TTL検出器と組み合わせることで二次電子のエネルギー選別を行い、帯電の影響を軽減したり、組成の情報を引き出す目的に使われることがある。

関連する用語

• 二次電子
• 反射電子
• TTL検出器

透過電子顕微鏡基本用語集

エネルギーフィルタ

【英】：energy filter

試料から出射する電子の内、特定のエネルギーを持つ電子のみを選択する装置。を使い、特に弾性散乱電子のみを選択すると、非弾性散乱電子によるバックグラウンドが取り除かれるので、明瞭な像や回折図形を得ることができ、精度の高い構造情報が得られる。また特定の元素の吸収端エネルギーを選択すると、その元素のマッピングができる。には、透過電子顕微鏡の鏡筒内に組み込むタイプと鏡筒の下に付加するタイプがあり、前者をインコラム型、後者をポストコラム型という。デザインの違う様々ながある。

関連する用語

• 弾性散乱電子
• 非弾性散乱電子
• 元素マッピング
• オメガフィルタ
• アルファフィルタ
• ウィーンフィルタ
• キャスタン・ヘンリー型フィルタ
• セクター型分光器

説明に「エネルギーフィルタ」が含まれている用語

• GIF
• アクロマティック面
• アルファフィルタ
• インコラムタイプ
• ウィーンフィルタ
• エネルギーフィルタ
• エネルギー選択スリット
• オメガフィルタ
• キャスタン・ヘンリー型フィルタ
• セクター型分光器
• トリディエム
• ノンアイソクロマティシティ
• フォノン
• ポストコラムタイプ
• 結晶構造解析
• 元素マッピング
• 収束電子回折
• 電子線プリズム
• 透過電子顕微鏡像
• 非弾性散乱電子