ナノインプリント・リソグラフィ
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脚注
関連文献
- 谷口淳『はじめてのナノインプリント技術』工業調査会〈ビギナーズブックス〉、2005年12月。ISBN 9784769312482。国立国会図書館書誌ID:000008062969。
- 平井義彦『ナノインプリントの基礎と技術開発・応用展開 : ナノインプリントの基盤技術と最新の技術展開』フロンティア出版、2006年7月。ISBN 9784902410099。国立国会図書館書誌ID:000008256887。
- 平井義彦「ナノインプリント技術 ナノインプリントの発展と今後の展望」『表面技術』第59巻第10号、表面技術協会、2008年、642-647頁、CRID 1390282679096029952、doi:10.4139/sfj.59.642、ISSN 09151869。
- 橋本信幸, 齋藤友香, 栗原誠「ナノインプリント技術を用いた微細光学素子の作成と液晶光学素子への応用(研究)」『マイクロメカトロニクス』第55巻第204号、日本時計学会、2011年、8-14頁、CRID 1390001206571135744、doi:10.20805/micromechatronics.55.204_8、ISSN 13438565。
- 松井真二「ナノインプリント技術の最新動向(キーノートスピーチ)」『精密工学会学術講演会講演論文集』2012年度精密工学会春季大会セッションID: H06、精密工学会、2012年、607-608頁、CRID 1390282680633435008、doi:10.11522/pscjspe.2012s.0.607.0。
- 松井真二, 平井義彦, 電子情報通信学会『ナノインプリント技術』電子情報通信学会、2014年3月。ISBN 9784885522857。国立国会図書館書誌ID:025314561。
- 平井義彦「ナノインプリント技術の現状と今後の展望」『精密工学会誌』第86巻第4号、精密工学会、2020年4月、243-246頁、CRID 1390002184892514048、doi:10.2493/jjspe.86.243、ISSN 09120289。
特許
- A アメリカ合衆国特許第 5772905 A号
- B2 アメリカ合衆国特許第 6943117 B2号
- B2 アメリカ合衆国特許第 8864489 B2号
- B2 アメリカ合衆国特許第 8912103 B2号
- B2 アメリカ合衆国特許第 8027086 B2号
- B2 アメリカ合衆国特許第 8741199 B2号
- B2 アメリカ合衆国特許第 8636937 B2号
注釈
出典
- ^ a b c d e f g 新しい微細パタン転写技術 2008/9
- ^ ナノインプリント開発の進展状況をキヤノンが講演(4)~「パーシャルフィールド」への対処 SEMICON West 2015リポート(11) 2015年09月15日
- ^ <該当するページがみつかりません。> ナノインプリント産業の状況 [リンク切れ]
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