スパッタリングとは？ わかりやすく解説

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走査電子顕微鏡基本用語集
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スパッタリング　sputtering

イオンが固体表面を衝撃したとき、固体を構成する原子をはじき飛ばす現象。これを利用して、試料の加工をしたり、試料のコーティングを行う。

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