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エネルギー幅　energy spread,energy width

電子が持つエネルギーのばらつき。SEMの場合は、電子銃から放出される電子、あるいは電子プローブ内の電子に対して言うのが普通である。これは、電子プローブ径が、特に低加速電圧でエネルギー幅の影響を受けるからである。陰極からの電子放出のメカニズムによってエネルギー幅は異なり、陰極温度が高いほどエネルギー幅は広くなる。

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エネルギー幅

【英】：energy spread

電子線ののことを指す。陰極から放出される電子の初速度のばらつきや試料での非弾性散乱によって決まる。

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