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走査電子顕微鏡基本用語集

反射電子　RE,BSE,BE: reflected electron,backscattered electron

入射電子が試料中において散乱する過程で、試料表面から再放出されたもの。エネルギー範囲は、入射電子エネルギーを最高値として極めて広く分布するが、一般的には50eV以上のエネルギーを持つもので、オージェ電子以外は反射電子と考えられている。後方散乱電子あるいは背面散乱電子と呼ばれることがある。

関連する用語

• オージェ電子
• 後方散乱電子

後方散乱電子（背面散乱電子）　BE,BSE: backscattered electron

試料に入射した電子の内、試料内で散乱されて再び試料表面から真空に放出されたもの。反射電子とも呼ばれるが、そのエネルギーは比較的高く、入射電子エネルギーをピークにして、連続的に分布する。

関連する用語

• 反射電子