収束イオンビームとは？わかりやすく解説

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収束イオンビーム(FIB)

収束イオンビーム(FIB) 電子顕微鏡システムで、電子の代わりにイオンを用いた装置。電子に比べ１０万倍重い質量(通常ガリウムイオンが使用される)の粒子線となるため、デカナノ（10^-8 m）級の微細加工に用いられる。

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