出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2021/09/12 23:09 UTC 版)
「大阪大学レーザー科学研究所」の記事における「EUVプロジェクト」の解説
レーザー生成プラズマを用いた高効率・高品質の極端紫外線 (EUV) 光源開発研究を行ったプロジェクト。
※この「EUVプロジェクト」の解説は、「大阪大学レーザー科学研究所」の解説の一部です。
「EUVプロジェクト」を含む「大阪大学レーザー科学研究所」の記事については、「大阪大学レーザー科学研究所」の概要を参照ください。
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