静電気力顕微鏡とは? わかりやすく解説

Weblio 辞書 > 辞書・百科事典 > ウィキペディア小見出し辞書 > 静電気力顕微鏡の意味・解説 

静電気力顕微鏡

出典: フリー百科事典『ウィキペディア(Wikipedia)』 (2023/09/01 00:18 UTC 版)

静電気力顕微鏡(せいでんきりょくけんびきょう、Electrostatic Force Microscope : EFM)は走査型プローブ顕微鏡の一種。

概要

走査型プローブ顕微鏡の一種で試料表面の形状や静電気力の分布を可視化するために使用される[1]。空間分解能10μmを有しながら数mm2もの広範囲を走査可能な表面電位計測システムで大気圧中で容易に高精度な計測が可能。 複数の走査型プローブ顕微鏡で試料上の静電気力分布を測定できるが非接触原子間力顕微鏡(NC-AFM)による形式では装置の探針としてニッケル探針が用いられ、先端部の直径は5μm、長さは560μmで、一方の端は90度に曲がり、長さ50μmの探針部がある。探針の変位は光ファイバーを利用した干渉計で測定される[1]

試料は樹脂無機化合物のような絶縁体が対象で、高圧パルス電源で探針から電圧を印加して試料表面が帯電することにより生じた静電気力を計測時に探針を接地した状態の非接触原子間力顕微鏡で走査して計測する[1]。帯電していない領域ではファンデルワールス力の力勾配が検出されるが、電荷のある領域では静電気力の勾配が検出される[1]

用途

脚注

参考文献

  • Stern, J. E., et al. "Deposition and imaging of localized charge on insulator surfaces using a force microscope." Applied physics letters 53.26 (1988): 2717-2719, doi:10.1063/1.100162.
  • 森田清三, 菅原康弘「(2) 極限空間分解能を持つ非接触原子間力顕微鏡法」『応用物理』 67巻 12号、応用物理学会、1998年、 1402-1403頁, doi:10.11470/oubutsu1932.67.1402
  • 会沢宏一, 成田満, 上原利夫「静電気力顕微鏡法による潜像解析技術の検討」『Imaging Conference Japan fall meeting』 2009巻、日本画像学会、2009年, p.29-32, NAID 40016940671
  • 佐藤大知, 東尾順平,高橋芳浩,芦澤好人,塚本新,上原利夫, 大貫進一郎,中川活二「静電気力顕微鏡を用いた半導体表面電位測定による不純物濃度分布評価」『Imaging Conference Japan論文集』、日本画像学会、2014年, p.255-258, ISSN 1881-9958, NAID 40020359396

関連項目


静電気力顕微鏡

出典: フリー百科事典『ウィキペディア(Wikipedia)』 (2021/11/06 23:32 UTC 版)

走査型プローブ顕微鏡」の記事における「静電気力顕微鏡」の解説

パルス電圧印加し、静電気力評価する

※この「静電気力顕微鏡」の解説は、「走査型プローブ顕微鏡」の解説の一部です。
「静電気力顕微鏡」を含む「走査型プローブ顕微鏡」の記事については、「走査型プローブ顕微鏡」の概要を参照ください。

ウィキペディア小見出し辞書の「静電気力顕微鏡」の項目はプログラムで機械的に意味や本文を生成しているため、不適切な項目が含まれていることもあります。ご了承くださいませ。 お問い合わせ


英和和英テキスト翻訳>> Weblio翻訳
英語⇒日本語日本語⇒英語
  

辞書ショートカット

すべての辞書の索引

「静電気力顕微鏡」の関連用語

静電気力顕微鏡のお隣キーワード
検索ランキング

   

英語⇒日本語
日本語⇒英語
   



静電気力顕微鏡のページの著作権
Weblio 辞書 情報提供元は 参加元一覧 にて確認できます。

   
ウィキペディアウィキペディア
All text is available under the terms of the GNU Free Documentation License.
この記事は、ウィキペディアの静電気力顕微鏡 (改訂履歴)の記事を複製、再配布したものにあたり、GNU Free Documentation Licenseというライセンスの下で提供されています。 Weblio辞書に掲載されているウィキペディアの記事も、全てGNU Free Documentation Licenseの元に提供されております。
ウィキペディアウィキペディア
Text is available under GNU Free Documentation License (GFDL).
Weblio辞書に掲載されている「ウィキペディア小見出し辞書」の記事は、Wikipediaの走査型プローブ顕微鏡 (改訂履歴)の記事を複製、再配布したものにあたり、GNU Free Documentation Licenseというライセンスの下で提供されています。

©2025 GRAS Group, Inc.RSS