電離真空計とは？わかりやすく解説

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走査電子顕微鏡基本用語集

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電離真空計　ionization gauge

高電圧を掛けたときの気体の電離を利用して、生成されたイオンの数から圧力を測定する真空計。放電を利用したペニング真空計、熱電子による電離を利用した熱陰極電離真空計があるが、単に電離真空計といった場合、後者を指すことが多い。

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