表面弾性波フィルター

デジタル大辞泉

ひょうめんだんせいは‐フィルター〔ヘウメンダンセイハ‐〕【表面弾性波フィルター】

読み方：ひょうめんだんせいはふぃるたー

⇒弾性表面波フィルター

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表面弾性波フィルター

出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2021/02/19 06:05 UTC 版)

VHF / UHF 用の表面弾性波フィルター。

典型的な表面弾性波フィルターの模式図。

表面弾性波フィルター（ひょうめんだんせいはフィルター、英: surface acoustic wave filter、SAWフィルター）とは、圧電体の薄膜、もしくは基板上に形成された規則性のあるくし型電極(IDT)により、特定の周波数帯域の電気信号を取り出す素子のことである。くし型電極(IDT)の構造周期と圧電体や電極の物性により、中心周波数や帯域を決めることができる。

特性

一般に数十メガヘルツ以上の高周波を対象にしたフィルターであり、現在（2005年）のところ、数ギガヘルツまでの周波数帯を取り出すことができる。

一般に、基板側が圧電体である。

SAWフィルタに使われる圧電体としては、水晶のほか、タンタル酸リチウム(LiTaO₃ )やニオブ酸リチウム(LiNbO₃)などのリチウム化合物がよく用いられているという。

製造の際には、微細電極などの微細部があるため、半導体製造のようにフォトリソグラフィーが用いられ、クリーンルームで製造されるという。

外部リンク

• アーカイブ - SAWフィルタの説明(富士通研究所)