薄膜近似法
クリフ・ロリマー法（薄膜近似法）
【英】：Cliff-Lorimer method
特性X線の分光分析において、目的元素の定量に用いる手法で試料が数10nm以下(測定元素の違いにより変わる)の場合に適用される。薄膜近似法ともいう。たとえば二元素A、Bから成る物質の場合、特性X線強度IA、IBを測り、問題の物質のイオン化断面積、蛍光収率などに比例定数(k 因子)を用いて、元素A、Bの濃度比CA/CBを式CA/CB＝k・IA/IBから求める方法。試料が薄い場合は以下の効果の補正を簡略化しても、比較的高い精度の定量ができる。試料が厚いときは、放出X線の強度は原子番号効果、吸収効果、蛍光励起効果を受けるので、これらの影響を補正しなければならない(ZAF補正)。
特性X線の分光分析において、目的元素の定量に用いる手法で試料が数10nm以下(測定元素の違いにより変わる)の場合に適用される。薄膜近似法ともいう。たとえば二元素A、Bから成る物質の場合、特性X線強度IA、IBを測り、問題の物質のイオン化断面積、蛍光収率などに比例定数(k 因子)を用いて、元素A、Bの濃度比CA/CBを式CA/CB＝k・IA/IBから求める方法。試料が薄い場合は以下の効果の補正を簡略化しても、比較的高い精度の定量ができる。試料が厚いときは、放出X線の強度は原子番号効果、吸収効果、蛍光励起効果を受けるので、これらの影響を補正しなければならない(ZAF補正)。
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