第4段階: リンスと乾燥
出典: フリー百科事典『ウィキペディア(Wikipedia)』 (2022/05/11 05:23 UTC 版)
「RCA洗浄」の記事における「第4段階: リンスと乾燥」の解説
高純度薬品とクリーンなガラス容器でRCA洗浄を行うと、ウェハーは水に浸かっている間は非常にクリーンな表面を持つ。表面は容易に有機物や水中に浮遊するパーティクルによって再汚染するため、リンスと乾燥段階は正しく行わなければならない。リンスと乾燥を効果的に行うために様々な手法がとられる。
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