出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2021/06/13 09:49 UTC 版)
詳細は「質量分析法」を参照 分圧真空計は環境（チャンバ内）の気体成分の分子量ごとに圧力を測定する真空計である。質量分析計とも呼ばれる。 高周波形質量分析計 四極子形質量分析計 単極子形質量分析計 磁界偏向形質量分析計 二重収束形質量分析計 トロコイド形質量分析計 オメガトロン形質量分析計 飛行時間質量分析計
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