ホウリンケイ酸ガラス
出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2023/04/13 07:56 UTC 版)
ホウリンケイ酸ガラス (Borophosphosilicate glass, BPSG) とは、ホウ素とリンを含むケイ酸ガラスの一種である。リンケイ酸ガラスやホウリンケイ酸ガラスは半導体デバイス製造において、金属層や導電層の間の絶縁層として利用されている。
- ^ Vázquez-Luque, Aurelio; Marín, Jesús; Terrón, J. Antonio; Pombar, Miguel; Bedogni, Roberto; Sánchez-Doblado, Francisco; Gómez, Faustino (2013-12). “Neutron Induced Single Event Upset Dependence on Bias Voltage for CMOS SRAM With BPSG”. IEEE Transactions on Nuclear Science 60 (6): 4692–4696. doi:10.1109/TNS.2013.2283532. ISSN 1558-1578.
- ^ An Accurate and Comprehensive Soft Error Simulator Y. Tosaka, S. Satoh, and H. Oka - Fujitsu Laboratories
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