カソードルミネッセンス顕微法

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カソードルミネッセンス顕微法

出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2020/01/01 03:32 UTC 版)

「カソードルミネッセンス」の記事における「カソードルミネッセンス顕微法」の解説

地質学、鉱物学、物質科学、半導体工学において、カソードルミネッセンス検出器もしくは光学カソードルミネッセンス顕微鏡（英語版）を付け加えた走査型電子顕微鏡を半導体、岩石、セラミックス、ガラスなどの内部構造を調べ、材料の組成や成長、品質を調べるのに使うことがある。