エキシマ‐レーザー

デジタル大辞泉

エキシマ‐レーザー【excimer laser】

読み方：えきしまれーざー

XeCl（キセノン・塩素）、ArF（アルゴン・弗素(ふっそ)）といった励起状態にある二原子分子（エキシマ）を利用するレーザー。紫外線・可視光短波長域のパルスを出力する。