バキュームアクチュエーター
ダイヤブラムの片側に、吸気マニホールド内で発生した負圧を作用させて駆動するアクチュエーター。おもに電磁弁を用い、バルブが開いたとき負圧をオン・オフする。この電磁弁のソレノイドに信号電流を流すことで微小な電力を機械力に変え、力の拡大をはかる。3方電磁弁を用いた場合、スプリングで押しもどされるダイヤフラムのスプリング側に負圧をかけて引き付け、ロッドにより可動部分を作動させる。通電が切れるとダイヤフラムは大気に開放され、スプリングにより押しもどされる。例えばEGRバルプやウェイストゲートバルブに採用されている。
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