DEAにおける最も基本的な効率性の尺度は, CCRモデルやBCCモデルで評価される比例的効率性尺度である. これらの2つの尺度は入出力値の単位を変更してもその値は変わらない. このことを単位不変と呼ぶ. ただし, 基本的な加法モデルは単位不変性をもたず, 単位不変性をもたせるための工夫がなされている.
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