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光回折法

【英】：optical diffraction method

透過電子顕微鏡の対物レンズの性能を検査するのに使われる手法。非常に薄い非晶質試料のHREM像にレーザ光を照射して得られた光回折パターンから、レンズの球面収差の補正、コマ軸の補正、非点収差(軸上)の補正を行なう。また、回折パターンの半径から、HREM像に寄与する最大空間周波数が求められ、分解能が測定できる。最近では、レーザ光を使わずコンピュータ処理で同様の補正が行なわれており、球面収差補正装置の性能評価に活用されている。回折パターンが真円であれば非点収差が補正されている。

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