カーボン蒸着

走査電子顕微鏡基本用語集

カーボン蒸着　carbon deposition

カーボンを真空中で高温に加熱することで蒸発させ、試料表面に被膜を作る方法。試料のコーティングに用いられるほか、微粒子を観察する際の試料支持薄膜作製用としても用いられる。コーティング用としては、カーボンは、二次電子放出率がやや小さいが、原子番号が小さく、回り込みが良いので、非導電性試料を反射電子で観察する場合あるいは元素分析を行う場合によく使われる。低真空下で蒸着する、いわゆるカーボンコーターに比べて、高真空の真空蒸着装置を使ったカーボン蒸着の方が膜質は良い。

関連する用語

• コーティング
• カーボンコーター
• 二次電子放出率
• 回り込み
• 反射電子