X線リソグラフィー

デジタル大辞泉

エックスせん‐リソグラフィー【X線リソグラフィー】

読み方：えっくすせんりそぐらふぃー

半導体集積回路などの製造方法の一つ。シリコンウエハーにX線レジストなどの感光材を塗布し、X線吸収率が高い金属などの回路原版を重ね、波長がやや長い軟X線を照射して転写する。フォトリソグラフィーよりも微細な加工が可能。